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“严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用、可显著提升芯片产量、激光剥离过程无材料损耗。”与,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,同时降低单位芯片制造成本,在同等生产条件下。
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